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技术指标 |
数据 |
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最大速度 |
500mm/s |
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最大加速度 |
1G |
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重复定位精度 |
≤±1μm |
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定位精度（赔偿后） |
≤±1.5μm |
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直线度 |
≤5μm |
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笔直度 |
≤8μm |
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光栅尺区分率 |
0.1μm |
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13655559489 （孙经理）